Chipmaking changes could boost productivity of new ASML machines by 40 percent.

Chiptechnologie: Chipmachinemaker ASML smeedt een coalitie van chipfabrikanten om zijn meest geavanceerde High-NA EUV-machine te upgraden, samen met chipgigant TSMC. Het doel:…

Stitching to be used in the near term future with High-NA tools, but larger 6×12 photomasks envisioned.