Een gevaarte van 14 meter lang, met honderdduizenden onderdelen en een prijskaartje van 400 miljoen euro. Je zou denken dat ASML’s High-NA-lithografiemachine na ruim tien jaar onderzoek en ontwikkeling een perfect werkend apparaat is. Maar omdat de ingenieurs in het allereerste ontwerp water bij de wijn moesten doen, wacht de machine nu een ingrijpende upgrade.
De chipmachinemaker kondigde deze dinsdag aan een coalitie van fabrikanten te hebben gevormd die samen een technische stap in de productie van de meest geavanceerde chips zullen nemen. De Taiwanese chipgigant TSMC speelt daarin een belangrijke rol, ASML’s grootste klant, maar ook Intel en Samsung en andere geheugenchipmakers doen mee aan het initiatief. De planning is dat de High-NA-machine over vijf jaar overweg kan met grotere ‘maskers’ – de blauwdrukken met het chippatroon. Het apparaat zal dan een stuk sneller werken. „We verwachten dat High NA daardoor sneller omarmd gaat worden”, aldus ASML-topman Christophe Fouquet in een toelichting.
Lees ook
High-NA: zo bouwt ASML het grootste kopieerapparaat ter wereld. Wie gaat ’m kopen?
Hoe werkt het? Een lithografiemachine is een complex kopieerapparaat voor chips. Het licht valt eerst op een masker, daarna belandt de projectie op een fotogevoelige laag op een siliciumschijf, of wafer. Dit proces wordt herhaald tot de hele wafer is bedrukt. ASML is vooralsnog de enige fabrikant die erin slaagt hiervoor extreem ultraviolet licht (EUV) in te zetten. Dit heeft een korte golflengte en kan daardoor fijnmaziger patronen tekenen, zodat transistors dichter bij elkaar kunnen worden geplaatst. Moderne chips van Apple, Nvidia of Intel bevatten tientallen miljarden transistors, opgebouwd uit lijntjes die slechts enkele tientallen nanometers – miljoensten van een millimeter – uit elkaar liggen.
