Intel ha superato il milione di wafer da 300 mm processati con scanner High-NA EUV, impiegati anche per alcune sezioni dei processori Panther Lake prodotti con tecnologia Intel 18A. L'azienda continua a utilizzare maschere da 6x6 pollici, mentre lavora con ASML alla transizione verso formati da 6x12 pollici.

Stitching to be used in the near term future with High-NA tools, but larger 6×12 photomasks envisioned.

Intel setzt als erster Chipfertiger ASMLs neueste Lithografie-Systeme ein. Parallel läuft die Entwicklung größerer Masken.