Secondo The Information, La Cina ha avviato una produzione limitata di scanner litografici DUV a immersione sviluppati internamente. Le prime consegne sarebbero destinate a SMIC, Hua Hong e CXMT. Restano interrogativi sulle prestazioni rispetto alle macchine dell'olandese ASML.

China starts limited production of domestic immersion DUV lithography machines as SMIC tests tools from Yuliangsheng, targeting 28nm chips by

Reports that China has started mass-producing homegrown DUV lithography machines actually describe two separate developments being treated as one. A Shanghai firm linked to…