Китай начал серийное производство разработанных внутри страны иммерсионных литографических установок глубокого ультрафиолета (DUV), необходимых для выпуска современных микросхем. Об этом сообщает Reuters со ссылкой на источник, знакомый с проектом.Иммерсионная DUV-литография использует слой воды между объективом и кремниевой пластиной, что позволяет формировать более мелкие элементы схем, чем традиционная «сухая» литография. Такие установки применяются для производства широкого спектра микросхем, а при использовании технологии многократной экспозиции позволяют выпускать и более сложные полупроводники.По данным агентства, производство возглавляет малоизвестная государственная компания Shanghai Aishengna Electronic Technology Group, объединившая команды нескольких китайских стартапов, занимающихся разработкой литографического оборудования.Как отмечает агентство, запуск производства стал важным этапом программы Пекина по достижению технологической независимости в сфере полупроводников. Однако в ближайшей перспективе китайские разработки не смогут составить серьезную конкуренцию нидерландской компании ASML, которая остается мировым лидером на рынке DUV-литографии.Ранее издание The Information сообщило, что государственная компания из Шанхая начала выпуск таких машин и рассчитывает произвести около пяти установок в этом году и около двадцати — в 2027 году. Reuters называет производителя — компанию Aishengna.Компания Aishengna была зарегистрирована в августе 2023 года с уставным капиталом 7 млрд юаней (около 1 млрд долларов). Ее акционерами являются государственные Shanghai Electric Holding и дочерняя структура Shanghai International Trust. У компании нет собственного сайта, а публичная информация о ее деятельности практически отсутствует.США запрещают поставки Китаю самых современных EUV-литографов ASML, а экспортные лимиты Нидерландов также ограничивают доступ китайских производителей к части современных DUV-систем.По словам источника агентства, китайские DUV-литографы еще нуждаются в дополнительных испытаниях и пока значительно уступают аналогам ASML.Тем не менее успешное внедрение собственных установок позволит китайским производителям микросхем снизить зависимость от иностранных поставщиков в случае дальнейшего ужесточения западных экспортных ограничений или запрета на обслуживание зарубежного оборудования.По информации The Information, первые китайские DUV-литографы уже в этом году планируется поставить крупнейшим производителям микросхем страны, включая SMIC, Hua Hong Semiconductor и производителя памяти ChangXin Memory Technologies (CXMT).