기사를 읽어드립니다Your browser does not support theaudio element.0:00에스케이(SK)하이닉스 청주공장. 오윤주 기자 광고에스케이(SK)하이닉스 청주공장 가스룸에서 불이나 직원 3600여명이 대피했다. 불은 스프링클러 등 자체 소화 설비가 작동하면서 10여분 만에 진화됐지만, 화재와 함께 화학물질 불소 등이 가스룸에 누출돼 작업 중이던 직원 11명이 병원으로 옮겨져 치료를 받았다. 1일 충북소방본부와 에스케이 하이닉스 등의 말을 종합하면, 이날 오전 10시20여분께 청주시 흥덕구 외북동 에스케이 하이닉스 엠(M)15공장과 엠(M)15엑스(X) 공장 사이 가스룸에서 원인 모를 불이 났다. 불은 스프링클러 등 자동 소화 설비가 작동하면서 10여분 만에 자체 진화됐다. 하지만 불이 나면서 가스룸에서 작업 중이던 직원 11명이 가스 배관 캐비넷에서 누출된 화학물질에 노출돼 에스케이 하이닉스 청주 캠퍼스 안 내부 병원으로 옮겨졌다. 에스케이 하이닉스 쪽은 “당시 5명 정도가 눈 따가움 등 증상을 보였으며, 치료 뒤 모두 ‘이상 없음’ 소견을 받았고, 지금은 특이 증상 발현 등에 대비해 병원에서 안정을 취하고 있다. 소방 당국과 누출 가스 정도를 조사했더니 불소가 5ppm 가량 측정됐다. 환경 정화 장비를 가동해 환기했으며, 지금은 모두 기준치 이하로 안정됐다”고 밝혔다.광고 이 공장에서 불소는 반도체 공정의 하나인 식각(에칭) 공정에 쓰이는 것으로 알려졌다. 식각은 화학 약품의 부식 작용을 이용해 웨이퍼(회로판)상 특정 물질을 제거하는 반도체 8대 공정의 하나다. 불소도 이 공정에 쓰이는데 독성이 높은 오염 물질로, 폐수 오염물질 처리 기준은 3ppm 이하다. 에스케이 하이닉스 쪽은 “소방 등과 사고 원인을 조사 중이다. 가스룸 등 내부 공기 측정 등을 통해 안정화하면 직원을 복귀시키고, 사고 경위 등도 조사할 계획이다. 장비 가동, 생산 등 차질은 없다”고 밝혔다. 오윤주 기자 sting@hani.co.kr