ASML will über die nächsten 2,5 Jahre deutlich mehr Lithografie-Systeme herstellen als bisher. Die niederländische Firma untermauert damit frühere Aussagen, nicht zum Flaschenhals der Halbleiterwelt zu werden. Alle großen Chip- und Speicherhersteller sind von ASML abhängig: TSMC, Samsung, Intel, SK Hynix, Micron und viele weitere.
ASML ist weltweit die einzige Firma, die Lithografie-Systeme mit extrem-ultravioletter (EUV-)Belichtungstechnik herstellt. Solche Modelle mit einer Lichtwellenlänge von 13,5 nm sind zur Erstellung der feinsten Strukturen in Chips notwendig. TSMC und Samsung verwenden sie seit der 7-Nanometer-Generation, Intel seit der 4er.
Ein Blick auf China zeigt die Auswirkungen fehlender EUV-Systeme: Der chinesische Chipauftragsfertiger SMIC und Huawei haben Probleme, 7-nm-Chips mit hoher Ausbeute herzustellen, die sich mit noch feineren Strukturen nur weiter verstärken.
Zweimal 30 Prozent mehr
Aktuell kann ASML laut eigenen Aussagen 65 EUV-Systeme pro Jahr herstellen. 2027 sollen es 30 Prozent mehr werden, also etwa 85. Gemeint ist die aktuelle Generation mit niedriger numerischer Apertur. Ein System kostet 170 Millionen bis 200 Millionen Euro. Der Jahresumsatz müsste also um mindestens 3,4 Milliarden Euro steigen. Aktuell prüft ASML, ob 2028 eine weitere Steigerung um 30 Prozent möglich wäre.
