Die EU-Kommission hat die Pläne Deutschlands zur Subventionierung vier verschiedener Halbleiteranlagen in einer Gesamthöhe von 659 Millionen Euro genehmigt. Damit soll die Position Deutschlands und auch der EU in der weltweiten Halbleiter-Wertschöpfungskette gestärkt werden. Gefördert werden Werke der Element 3-5 GmbH, der Vishay Siliconix Itzehoe GmbH, der KLA-Tencor MIE GmbH sowie der KETEK GmbH in Baesweiler in Nordrhein-Westfalen, in Itzehoe in Schleswig-Holstein, im hessischen Weilburg und in München.
Die Förderung ist Teil einer EU-weiten Strategie: Die Europäische Union hat sich zum Ziel gesetzt, die Massenproduktion von Halbleitern zu fördern, um weniger von anderen Ländern abhängig zu sein. Der Weltmarktanteil der EU soll bis 2030 auf 20 Prozent der Produktion gesteigert werden. Anfang 2025 hat die EU dazu 227 Millionen Euro für ein österreichisches Halbleiterwerk genehmigt. Dort werden optische Sensoren, LEDs, Laser (samt LIDAR) und integrierte Schaltkreise (CMOS) hergestellt.
Hochspezialisierte Anlagen und Chips
Im Rahmen des 2023 von EU-Rat und -Parlament verabschiedeten Chips Act darf die deutsche Regierung gemeinsam mit den jeweiligen Landesbehörden vier andere Halbleiterprojekte finanziell unterstützen. Der Großteil von 353 Millionen Euro geht an Element 3-5 SiCnature für eine neuartige Fabrik zur Herstellung von Epiwafern aus Siliziumcarbid („SiC“) in Baesweiler. Mit 214 Millionen Euro wird das Halbleiterwerk von Vishay Siliconix in Itzehoe gefördert, wo Silizium-Leistungs-MOSFETs des n- und p-Typs produziert werden. Diese werden vorrangig in der Automobilindustrie verwendet.
